Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80789| Название: | Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией |
| Авторы: | Гавриленко, А. В. Конищев, М. Е. |
| Научный руководитель: | Конищев, Максим Евгеньевич |
| Ключевые слова: | системы магнетронного распыления; тонкие плёнки; скорость осаждения; процесс напыления; нитрид титана; оксид титана; петля гистерезиса |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Гавриленко, А. В. Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией / А. В. Гавриленко, М. Е. Конищев ; науч. рук. М. Е. Конищев ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 123-125. |
| Аннотация: | The article considers the hysteresis of the sputtering process of a titanium target in a reactive environment with oxygen and nitrogen, as well as the effect of the gas mixture on the temperature of the atmosphere of a reactive magnetron discharge. It is shown that the hysteresis loop of the process with nitrogen is practically not observed, in contrast to the situation with oxygen, but in this case, the environment heats up faster in the oxygen medium, which indicates a higher plasma energy |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80789 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2023-C21_V1_p123-125.pdf | 808,65 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons
