Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80827| Название: | Получение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыления |
| Авторы: | Савельев, А. И. |
| Научный руководитель: | Юрьев, Юрий Николаевич |
| Ключевые слова: | тонкие пленки; радиочастотные резонаторы; токсичные вещества; композитная мишень; стехиометрический состав; вакуумный отжиг; послойное осаждение; Nb3Sn |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Савельев, А. И. Получение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыления / А. И. Савельев ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 333-335. |
| Аннотация: | This research is aimed at determining the optimal operating modes of the magnetron source, under which the formation of Nb-Sn thin films of the required composition occurs. The deposition was carried out by the method of layer-by-layer deposition of Nb and Sn and using a stoichiometric target. The coatings were annealed in vacuum at a temperature of 800 °C for 12 hours |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80827 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2023-C21_V1_p333-335.pdf | 723,88 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons
