1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/84205
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorДитц, Александр Андреевичru
dc.contributor.authorПлеханов, Т. И.ru
dc.contributor.authorДанилин, А. В.ru
dc.contributor.authorКомаров, Д. В.ru
dc.contributor.authorДитц, Александр Андреевичru
dc.date.accessioned2025-02-10T04:05:27Z-
dc.date.available2025-02-10T04:05:27Z-
dc.date.issued2024-
dc.identifier.citationРазработка составов стекла для микроэлектроники / Т. И. Плеханов, А. В. Данилин, Д. В. Комаров, А. А. Дитц ; науч. рук. А. А. Дитц // Химия и химическая технология в XXI веке. — Томск : Изд-во ТПУ, 2024. — Т. 2. — С. 216-218.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/84205-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofХимия и химическая технология в XXI веке. 2024. Т. 2ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectстеклоru
dc.subjectмикроэлектроникаru
dc.subjectповерхностно-активные добавкиru
dc.titleРазработка составов стекла для микроэлектроникиru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage216-
local.description.lastpage218-
local.filepathconference_tpu-2024-C27_V2_p216-218.pdf-
local.identifier.bibrec(RuTPU)678143-
local.localtypeДокладru
local.volume2-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2024-C27_V2_p216-218.pdf303,15 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons