Свойства магнетронного разряда на постоянном токе

Abstract

На основании зондовых измерений электрического потенциала в прикатодной области плазмы изучена структура магнетронного разряда на постоянном токе. Обнаружено, что при достаточно низком напряжении (?250 В) разряд по своему строению напоминает тлеющий, а при более высоком важную роль в его формировании начинает играть процесс самораспыления мишени, являющийся неотъемлемым признаком магнетронного разряда. Построена двумерная модель растекания электронного тока из зоны разряда при заданных конфигурациях электродов распылительной системы. Показано, что положение анода относительно магнетрона сильно влияет на распределение холловского тока в разрядной зоне, а магнитное поле способствует разделению разряда на несколько зон с различными плотностями тока.