Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15928Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Дохтуров, Всеволод Всеволодович | ru |
| dc.contributor.author | Смирнов, Серафим Всеволодович | ru |
| dc.contributor.author | Юрченко, Алексей Васильевич | ru |
| dc.contributor.author | Юрченко, Василий Иванович | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-03-24T04:01:31Z | - |
| dc.date.available | 2016-03-24T04:01:31Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Контроль параметров омических контактов непосредственно в процессе их отжига / В. В. Дохтуров [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2012. — № 1 (2). — [С. 109-114]. | ru |
| dc.identifier.issn | 2226-0064 | - |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15928 | - |
| dc.description.abstract | Проведен анализ процесса отжига омических контактов к полупроводниковым структурам на основе арсенида галлия и его твердых растворов с контролем сопротивления непосредственно в процессе отжига. Приведена эмпирическая формула зависимости приведенного поверхностного сопротивления от температуры. Представлена физическая модель формирования омических контактов. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Томский политехнический университет | ru |
| dc.relation.ispartof | Вестник науки Сибири. 2012. № 1 (2) | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.source | Вестник науки Сибири | ru |
| dc.subject | омические контакты | ru |
| dc.subject | параметры | ru |
| dc.subject | контроль | ru |
| dc.subject | сопротивление | ru |
| dc.subject | отжиг | ru |
| dc.title | Контроль параметров омических контактов непосредственно в процессе их отжига | ru |
| dc.type | Article | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/article | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.description.firstpage | 109 | - |
| local.description.lastpage | 114 | - |
| local.filepath | http://sjs.tpu.ru/journal/article/viewPDFInterstitial/257/273 | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\prd\145574 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\25599 | - |
| local.issue | 1 | - |
| local.localtype | Статья | ru |
| Располагается в коллекциях: | Векторы благополучия: экономика и социум | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 273.pdf | 979,95 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.