Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2825| Title: | Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов |
| Authors: | Воронов, А. В. Сергеев, Виктор Петрович Сергеев, О. В. Нейфельд, В. В. Параев, Ю. Н. |
| Keywords: | нанокомпозитные покрытия; магнетронное осаждение; химический состав; фазовый состав; микротвердость; покрытия; нитрид титана-аллюминия; нитрид алюминия-кремния |
| Issue Date: | 2009 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов / А. В. Воронов [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2009. — Т. 315, № 2: Математика и механика. Физика. — [С. 147-150]. |
| Abstract: | Путём вакуумного магнетронного осаждения при одновременной работе двух магнетронов получены нанокомпозитные покрытия на основе системы Ti-Al-Si-N. Исследовано влияние параметров магнетронного распыления разных мишеней на химический состав и микротвердость покрытия. С помощью рентгеноструктурного анализа определен фазовый состав и средний размер субзёрен основной фазы в полученных покрытиях Ti-Al-Si-N. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2825 |
| ISSN: | 1684-8519 |
| Appears in Collections: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2009-315-2-33.pdf | 730 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.