Диагностика процесса распыления и исследование структуры покрытий оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления

Abstract

Данная выпускная квалификационная работа содержит 126 с, 35 рисунков, 21 таблиц, 20 источников. Целью работы является определение параметров плазмы, исследование структуры и основных физико-механических свойств покрытий оксинитпидов титана TiOxNy, осажденных методом магнетронного распыления при различных режимах напыления. В работе представлены теоретические основы по биоматериалам, методам осаждения покрытий, дианостики плазмы и структурного анализа. В ходе работы был определен фазовый состав, параметры решетки, шероховатость, твердость (Н) и модуль Юнга (E) полученных покрытий. Полученные результаты позволяют установить возможность использования данных покрытий для модифицирования поверхности медицинских имплантатов.

This graduation qualifying work contains 126 pages, 35 figures, 21 tables, 20 sources. The aim of the work is to determine the plasma parameters, study the structure and basic physical and mechanical properties of titanium oxynitrides TiOxNy coatings, which are deposited using magnetron sputtering under different sputtering modes. In the work presented the theoretical foundations of biomaterials, coatings deposition methods, plasma diagnostic and structural analysis. Phase composition, the lattice parameters, roughness, hardness (H) and Young's modulus (E) of the resulting coatings were determined in the work. These results allow to establish the possibility of using these coatings to modify the surface of medical implants.