Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52755
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorКривобоков, Валерий Павловичru
dc.contributor.authorСиделёв, Дмитрий Владимировичru
dc.date.accessioned2019-02-12T06:07:08Z-
dc.date.available2019-02-12T06:07:08Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationСиделёв Д. В. Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / Д. В. Сиделёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2018. — 138 л. : ил.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/52755-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.subjectТонкопленочные покрытияru
dc.subjectдиссертацииru
dc.subjectосаждениеru
dc.subjectпокрытияru
dc.subjectхромru
dc.subjectникельru
dc.subjectмагнетронные диодыru
dc.subjectмишениru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectтонкопленочные материалыru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectметаллические мишениru
dc.subjectкристаллические структурыru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectраспылительные системыru
dc.subjectмагнетронные системыru
dc.subjectкоррозионная стойкостьru
dc.titleОсаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07ru
dc.typeThesis-
dc.typeDissertation-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersion-
dcterms.audienceResearches-
local.filepathdis00287.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\369607-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\34510-
local.localtypeДиссертацияru
dc.subject.oksvnk01.04.07-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат технических наукru
local.thesis.disciplineФизика конденсированного состоянияru
Appears in Collections:Авторефераты и диссертации

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
dis00287.pdf3,98 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.