Структурная стабильность многослойных Zr/Nb систем при облучении ионами Не+ в широком диапазоне доз

Abstract

В работе исследована структурная стабильность многослойных покрытий Zr/Nb с различной толщиной индивидуального слоя при облучении ионами He?. Многослойные Zr/Nb покрытия с толщиной индивидуального слоя 10 - 100 нм были подвергнуты облучению ионами гелия с флюенсом 1•10?? - 1•10?? ион/см? с энергией 25 кэВ. По результатам проведенного рентгеноструктурного анализа и измерения электрического сопротивления было выявлено, что при больших дозах облучения покрытия испытывают реориентацию с изменением микро- и макронапряжений. В работе была была определена оптимальная толщина индивидуального слоя, обеспечивающая высокую структурную стабильность системы в целом, которая составила 25 нм.

The structural stability of Zr/Nb multilayer coatings with different individual layer thicknesses under irradiation with He? ions was studied. Multilayer Zr/Nb coatings with an individual layer thickness of 10–100 nm were irradiated with 25 keV helium ions with a fluence of 1 • 10?? - 1 • 10?? ion / cm? . According to the results of X-ray diffraction analysis and measurement of electrical resistance, it was found that at high doses of irradiation, coatings undergo reorientation with a change in micro- and macrostresses. In the work, the optimal thickness of the individual layer was determined, which ensures high structural stability of the system as a whole, which was 25 nm.