Закономерности формирования, особенности структуры и свойства ударопрочных защитных покрытий системы Si-Al-N

Abstract

В работе представлены результаты исследований структурно-фазового состояния и физико-механических свойств покрытий системы Si-Al-N толщиной 3 мкм и 6 мкм, сформированных на поверхности монокристаллического кремния методом импульсного магнетронного осаждения. Ударные испытания показали, что наибольшей стойкостью к воздействию высокоскоростных твердых микрочастиц Fe обладают образцы монокристаллического кремния с защитным покрытием Al-Si-N толщиной 3 мкм. Нанесение покрытий Al-Si-N толщиной 3 мкм к уменьшению поверхностной плотности кратеров в 2,4 раза по сравнению с исходными образцами кремния (без покрытий).

The paper presents the results of studies of the structural-phase state and physical and mechanical properties of the Si-Al-N coatings with a thickness of 3 ?m and 6 ?m formed on the surface of single-crystal silicon by pulsed magnetron deposition. Impact tests showed that the Al-Si-N protective coating 3?m in thickness on single-crystal silicon substrate have the highest impact resistance to high-speed solid Fe microparticles. The deposition of the Al-Si-N coatings with a thickness of 3 ?m leads to a decrease in the surface density of craters by 2.4 times compared with the original silicon samples (without coatings).