1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Авторефераты и диссертации
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6131
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorСтрунин, Владимир Ивановичru
dc.contributor.authorХудайбергенов, Гамзат Жапаровичru
dc.date.accessioned2015-12-02T04:05:09Z-
dc.date.available2015-12-02T04:05:09Z-
dc.date.issued2003-
dc.identifier.citationХудайбергенов Г. Ж. Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Г. Ж. Худайбергенов ; Омский государственный университет; науч.рук.: В. И. Струнин. — Омск, 2003. — 24 с. : ил.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/6131-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectфизикаru
dc.subjectаморфный кремнийru
dc.subjectгидрогенизированный кремнийru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectосаждениеru
dc.subjectгазовые разрядыru
dc.subjectаргон-силановая плазмаru
dc.subjectэлектроныru
dc.subjectраспределениеru
dc.subjectВЧЕ разрядru
dc.subjectхимический составru
dc.subjectмоделированиеru
dc.subjectавторефераты диссертацийru
dc.titleМоделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наукru
dc.typeThesisen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersionen
dcterms.audienceResearchesen
local.filepathhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2003/92.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\63562-
local.localtypeАвтореферат диссертацииru
dc.subject.oksvnk01.04.08-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат физико-математических наукru
local.thesis.disciplineФизика плазмыru
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
thesis_tpu-2003-92.pdf501,79 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.