Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6273| Title: | Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук |
| Authors: | Ли Цзень Фень |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Ремнев, Геннадий Ефимович |
| Keywords: | тонкие пленки; получение; пленки арсенида галия; импульсные мощные ионные пучки; воздействие; осаждение; абляционная плазма; авторефераты диссертаций |
| Issue Date: | 2006 |
| Citation: | Ли Цзень Фень. Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ли Цзень Фень ; Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН); науч. рук. Г. Е. Ремнев. — Томск, 2006. — 18 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6273 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2006-26.pdf | 1,3 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.