Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorПичугин, Владимир Федоровичru
dc.contributor.authorСунь Чжилэйru
dc.date.accessioned2020-11-09T03:15:04Z-
dc.date.available2020-11-09T03:15:04Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.citationСунь Чжилэй. Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07 / Сунь Чжилэй ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. Ф. Пичугин. — Томск, 2020.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectПленки тонкие — Получениеru
dc.subjectПленки тонкие — Структураru
dc.subjectдиссертацииru
dc.subjectзакономерностиru
dc.subjectформированиеru
dc.subjectоксинитриды титанаru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectструктурные особенностиru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectоксиды титанаru
dc.subjectбиомедицинское применениеru
dc.subjectосаждениеru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectкристаллические структурыru
dc.subjectпреломлениеru
dc.subjectфазовый составru
dc.subjectшероховатостиru
dc.subjectотжигru
dc.subjectмолекулярный составru
dc.subjectсмачиваниеru
dc.subjectспектроскопияru
dc.subjectтермическая обработкаru
dc.subjectфотокаталитическая активностьru
dc.titleЗакономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07ru
dc.typeThesisen
dc.typeDissertationen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersionen
dcterms.audienceResearchesen
local.filepathdis00392.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\377075-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\46146-
local.localtypeДиссертацияru
dc.subject.oksvnk01.04.07-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат физико-математических наукru
local.thesis.disciplineФизика конденсированного состоянияru
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
dis00392.pdf7,68 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons