Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284| Title: | Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07 |
| Authors: | Сунь Чжилэй |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Пичугин, Владимир Федорович |
| Keywords: | Пленки тонкие — Получение; Пленки тонкие — Структура; диссертации; закономерности; формирование; оксинитриды титана; магнетронное распыление; структурные особенности; тонкие пленки; оксиды титана; биомедицинское применение; осаждение; плазма; кристаллические структуры; преломление; фазовый состав; шероховатости; отжиг; молекулярный состав; смачивание; спектроскопия; термическая обработка; фотокаталитическая активность |
| Issue Date: | 2020 |
| Citation: | Сунь Чжилэй. Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07 / Сунь Чжилэй ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. Ф. Пичугин. — Томск, 2020. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| dis00392.pdf | 7,68 MB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
