Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
Название: Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07
Авторы: Сунь Чжилэй
Научный руководитель: Пичугин, Владимир Федорович
Ключевые слова: Пленки тонкие — Получение; Пленки тонкие — Структура; диссертации; закономерности; формирование; оксинитриды титана; магнетронное распыление; структурные особенности; тонкие пленки; оксиды титана; биомедицинское применение; осаждение; плазма; кристаллические структуры; преломление; фазовый состав; шероховатости; отжиг; молекулярный состав; смачивание; спектроскопия; термическая обработка; фотокаталитическая активность
Дата публикации: 2020
Библиографическое описание: Сунь Чжилэй. Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07 / Сунь Чжилэй ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. Ф. Пичугин. — Томск, 2020.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
dis00392.pdf7,68 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.