Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
Title: Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07
Authors: Сунь Чжилэй
metadata.dc.contributor.advisor: Пичугин, Владимир Федорович
Keywords: Пленки тонкие — Получение; Пленки тонкие — Структура; диссертации; закономерности; формирование; оксинитриды титана; магнетронное распыление; структурные особенности; тонкие пленки; оксиды титана; биомедицинское применение; осаждение; плазма; кристаллические структуры; преломление; фазовый состав; шероховатости; отжиг; молекулярный состав; смачивание; спектроскопия; термическая обработка; фотокаталитическая активность
Issue Date: 2020
Citation: Сунь Чжилэй. Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07 / Сунь Чжилэй ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. Ф. Пичугин. — Томск, 2020.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
Appears in Collections:Авторефераты и диссертации

Files in This Item:
File SizeFormat 
dis00392.pdf7,68 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.