Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64961
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorСиделёв, Дмитрий Владимировичru
dc.contributor.authorРучкин, Сергей Евгеньевичru
dc.contributor.authorЮрьев, Юрий Николаевичru
dc.contributor.authorУханов, С. И.ru
dc.date.accessioned2021-03-30T04:30:08Z-
dc.date.available2021-03-30T04:30:08Z-
dc.date.issued2021-
dc.identifier.citationТравление углеродных покрытий в плазме водорода / Д. В. Сиделёв, С. Е. Ручкин, Ю. Н. Юрьев, С. И. Уханов // Водород. Технологии. Будущее : сборник тезисов докладов Всероссийской научно-практической конференции, г. Томск, 23-24 декабря 2020 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2021. — [С. 51].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/64961-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofВодород. Технологии. Будущее : сборник тезисов докладов Всероссийской научно-практической конференции, г. Томск, 23-24 декабря 2020 г.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectуглеродные покрытияru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectводородru
dc.subjectнапылениеru
dc.subjectмагнетронные распылительные системыru
dc.subjectионное травлениеru
dc.titleТравление углеродных покрытий в плазме водородаru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage51-
local.filepathconference_tpu-2020-C130_p51.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\34436-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\34510-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\46686-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\30543-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameВодород. Технологии. Будущееru
local.conference.date2020-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2020-C130_p51.pdf493,35 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons