Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64961| Title: | Травление углеродных покрытий в плазме водорода |
| Authors: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович Ручкин, Сергей Евгеньевич Юрьев, Юрий Николаевич Уханов, С. И. |
| Keywords: | углеродные покрытия; плазма; водород; напыление; магнетронные распылительные системы; ионное травление |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Травление углеродных покрытий в плазме водорода / Д. В. Сиделёв, С. Е. Ручкин, Ю. Н. Юрьев, С. И. Уханов // Водород. Технологии. Будущее : сборник тезисов докладов Всероссийской научно-практической конференции, г. Томск, 23-24 декабря 2020 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2021. — [С. 51]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64961 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2020-C130_p51.pdf | 493,35 kB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
