1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80798
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorЕвдокимов, Кирилл Евгеньевичru
dc.contributor.authorЗайцев, Даниил Дмитриевичru
dc.date.accessioned2024-10-28T12:04:09Z-
dc.date.available2024-10-28T12:04:09Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationЗайцев, Д. Д. Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона / Д. Д. Зайцев ; науч. рук. К. Е. Евдокимов ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 168-170.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/80798-
dc.description.abstractMagnetron sputtering systems are commonly used to change the functional properties of materials by applying thin-film coatings. In this work, we have simulated the magnetic field of the magnetic subsystem of a planar magnetron magnetron sputtering system in a 17 mm above target in increments of 1 cm by z-component using the Wolfram Mathematica 13.1 and Elcut. The dependence of the magnetic field on the distance from the target is provided and discussed. The simulation results, over a range of considered distances, are in good agreement with an experimental study. The developed module can be used for designing a magnetron system based on the created modelen
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г. Т. 1 : Физикаru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectмагнетронные распылительные системыru
dc.subjectМРСru
dc.subjectтонкопленочные покрытияru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectматематическая модельru
dc.subjectмагнитное полеru
dc.subjectпланарный магнетронru
dc.titleМоделирование магнитной подсистемы планарного магнетронаru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage168-
local.description.lastpage170-
local.filepathconference_tpu-2023-C21_V1_p168-170.pdf-
local.identifier.bibrec(RuTPU)672725-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2023-C21_V1_p168-170.pdf1,09 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons