1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80820
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorСиделёв, Дмитрий Владимировичru
dc.contributor.authorОсипова, Е. С.ru
dc.contributor.authorСиделёв, Дмитрий Владимировичru
dc.date.accessioned2024-10-28T12:04:12Z-
dc.date.available2024-10-28T12:04:12Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationОсипова, Е. С. Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием / Е. С. Осипова, Д. В. Сиделёв ; науч. рук. Д. В. Сиделёв ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 291-293.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/80820-
dc.description.abstractThe article describes influence of flow rate of reactive gas (nitrogen) on deposition rate of CrAlN coatings and its structural properties in the case of magnetron sputtering of "hot" Cr and Al targets using a radio-frequency plasma source (RF-ICP). It is shown that the increase in the flow rate of nitrogen leads to the increase in hardness of deposited coatings due to formation of the nitride phases of CrN and AlNen
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г. Т. 1 : Физикаru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectмикротвёрдостьru
dc.subjectтермостойкостьru
dc.subjectзащитные покрытияru
dc.subjectскорость осажденияru
dc.subjectреактивные газыru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectаргонru
dc.subjectазотru
dc.subjectплазменный генераторru
dc.titleВлияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированиемru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage291-
local.description.lastpage293-
local.filepathconference_tpu-2023-C21_V1_p291-293.pdf-
local.identifier.bibrec(RuTPU)673433-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2023-C21_V1_p291-293.pdf894,83 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons