Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/13417
Title: Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН
Authors: Каплин, Анатолий Александрович
Покровская, А. Н.
Стромберг, Армин Генрихович
Issue Date: 1976
Publisher: Томский политехнический университет
Citation: Каплин А. А. Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН / А. А. Каплин, А. Н. Покровская, А. Г. Стромберг // Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]. — 1976. — Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология. — [С. 109-112].
Abstract: Разработана методика анализа тонких пленок SiO2 плавиковой кислоты и воды, используемых в технологии производства интегральных схем на содержание 10-7 10-9% примесей Zn, Cd, Pb, In, Sn, Cu, Bi.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/13417
Appears in Collections:Известия ТПУ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
bulletin_tpu-1976-v275-33_bw.pdfBlack-and-white version of the preview205,95 kBAdobe PDFView/Open
bulletin_tpu-1976-v275-33_full.pdfColor version7,17 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.