Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/13417| Название: | Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН |
| Авторы: | Каплин, Анатолий Александрович Покровская, А. Н. Стромберг, Армин Генрихович |
| Дата публикации: | 1976 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Каплин А. А. Анализ тонких пленок SiO2 и плавиковой кислоты на содержание микропримесей некоторых элементов методом АПН / А. А. Каплин, А. Н. Покровская, А. Г. Стромберг // Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]. — 1976. — Т. 275 : Неорганическая химия и химическая технология. — [С. 109-112]. |
| Аннотация: | Разработана методика анализа тонких пленок SiO2 плавиковой кислоты и воды, используемых в технологии производства интегральных схем на содержание 10-7 10-9% примесей Zn, Cd, Pb, In, Sn, Cu, Bi. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/13417 |
| Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-1976-v275-33_bw.pdf | Black-and-white version of the preview | 205,95 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
| bulletin_tpu-1976-v275-33_full.pdf | Color version | 7,17 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.