Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/13971
Title: Электронно-лучевой контроль качества токопроводящего слоя резисторов
Authors: Горбунов, Владимир Иванович
Свирякин, Д. И.
Филишов, Н. Я.
Колупаев, А. Н.
Issue Date: 1976
Publisher: Томский политехнический университет
Citation: Электронно-лучевой контроль качества токопроводящего слоя резисторов / В. И. Горбунов [и др.] // Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]. — 1976. — Т. 296 : Неразрушающие методы контроля. — [С. 137-140].
Abstract: Рассматривается возможность применения методов сканирующей растровой электронной интроскопии для контроля тонкопленочных покрытий и поверхностных слоев радиокомпонентов и радиосхем. Описана конструкция и принцип работы экспериментальной электронно-лучевой установки для проверки качества токопроводящих покрытий резисторов. Приведены фотографии изображений контролируемых резисторов, полученных с экрана видеоконтрольного устройства ПТУ-26.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/13971
Appears in Collections:Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
bulletin_tpu-1976-v296-30_bw.pdfBlack-and-white version of the preview347,45 kBAdobe PDFView/Open
bulletin_tpu-1976-v296-30_full.pdfColor version6,32 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.