Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14894
Название: Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения
Авторы: Рябчиков, Александр Ильич
Степанов, Игорь Борисович
Сивин, Денис Олегович
Додорин, Константин Юрьевич
Шулепов, Иван Анисимович
Ключевые слова: физика; газоразрядная плазма; тлеющие разряды; формирование; полые катоды; высокочастотные напряжения; импульсные напряжения; использование
Дата публикации: 2011
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения / А. И. Рябчиков [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2011. — № 1 (1). — [С. 72-76].
Аннотация: Представлены закономерности формирования плазмы азота, аргона в полом катоде с объемом до 0,2…0,5 м3 с помощью короткоимпульсного 1…10 мкс высокочастотного 105 Гц напряжения до 3 кВ. Установлено, что, несмотря на импульсный характер напряжения, газовый разряд стабильно горит при давлении 0,1 Па и выше, величина тока разряда и концентрация плазмы возрастают при увеличении длительности импульса напряжения, амплитуды напряжения, общий ток разряда достигает 10 А, обеспечивая плотность ионного тока насыщения на изделия, помещенные в плазму до 0,5 мА/см2. Показана возможность осаждения сверхтвердого (45…50 ГПа) покрытия на основе нитрида титана внутри полого катода.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14894
ISSN: 2226-0064
Располагается в коллекциях:Вестник науки Сибири

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
94.pdf591,25 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.