Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15939| Title: | Технологические возможности формирования тонкопленочных гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов |
| Authors: | Афанасьев, Михаил Сергеевич Лучников, Петр Александрович Митягин, Александр Юрьевич Чучева, Галина Викторовна |
| Keywords: | физика; гетероструктуры; формирование; технологические возможности; алмазоподобные материалы; сегнетоэлектрические материалы; сегнетоэлектрические пленки; алмазоподобные пленки; ВЧ-распыление; высокочастотное распыление |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Технологические возможности формирования тонкопленочных гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов / М. С. Афанасьев [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2012. — № 1 (2). — [С. 115-119]. |
| Abstract: | Исследованы возможности формирования гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов. Определены оптимальные технологические условия формирования структур. Проведен анализ кристаллической структуры и фазового состава алмазоподобных и сегнетоэлектрических пленок. Показано, что формирование двухслойной гетероструктуры с алмазоподобным слоем при температуре подложки выше 700 С перовскитный слой не обладает сегнетоэлектрическими свойствами. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15939 |
| ISSN: | 2226-0064 |
| Appears in Collections: | Векторы благополучия: экономика и социум |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.