Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17445
Название: A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing
Авторы: Ryabchikov, Aleksandr Ilyich
Ananjin, P. S.
Sivin, Denis Olegovich
Shevelev, A. E.
Zhelomsky, S. G.
Ключевые слова: магнитные поля; подложки; макрочастицы; плазма
Дата публикации: 2015
Библиографическое описание: A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing / A. I. Ryabchikov [et al.] // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине : сборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 215-216].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17445
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2015-C49-184.pdf720,23 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.