Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17445| Название: | A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing |
| Авторы: | Ryabchikov, Aleksandr Ilyich Ananjin, P. S. Sivin, Denis Olegovich Shevelev, A. E. Zhelomsky, S. G. |
| Ключевые слова: | магнитные поля; подложки; макрочастицы; плазма |
| Дата публикации: | 2015 |
| Библиографическое описание: | A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing / A. I. Ryabchikov [et al.] // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине : сборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 215-216]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17445 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C49-184.pdf | 720,23 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.