Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17445| Title: | A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing |
| Authors: | Ryabchikov, Aleksandr Ilyich Ananjin, P. S. Sivin, Denis Olegovich Shevelev, A. E. Zhelomsky, S. G. |
| Keywords: | магнитные поля; подложки; макрочастицы; плазма |
| Issue Date: | 2015 |
| Citation: | A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing / A. I. Ryabchikov [et al.] // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине : сборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 215-216]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17445 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C49-184.pdf | 720,23 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.