Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19130
Название: Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра
Авторы: Чжилей, С.
Конищев, Максим Евгеньевич
Евдокимов, Кирилл Евгеньевич
Научный руководитель: Пичугин, Владимир Федорович
Ключевые слова: плазма; магнетронные разряды; зонды Ленгмюра; параметры
Дата публикации: 2015
Библиографическое описание: Чжилей С. Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра / С. Чжилей, М. Е. Конищев, К. Е. Евдокимов ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 134-136].
Аннотация: One of the most prospective methods of making the biocompatible coatings is reactive magnetron sputtering. It allows obtaining coatings with well controllable chemical composition. In order to control magnetron plasma parametersa Langmuir probe is widely used. A method for probe data processing has been developed. It includes raw data averaging and least-square methods for determining of plasma parameters such as electron temperature and ion density. The averaging is used in order to reduce an impact of data oscillations caused by proximity of probe and discharge frequencies. Using the method, plasma discharge parameters dependence on reactive gas mixture type has been investigated.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19130
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2015-C21-035.pdf271,86 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.