Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19147| Название: | Распределение примесных ионов в поверхностных слоях диэлектриков, модифицированных ионными пучками |
| Авторы: | Перминов, А. А. Чернявский, Александр Викторович |
| Научный руководитель: | Чернявский, Александр Викторович |
| Ключевые слова: | примесные ионы; поверхностные слои; диэлектрики; ионные пучки |
| Дата публикации: | 2015 |
| Библиографическое описание: | Перминов А. А. Распределение примесных ионов в поверхностных слоях диэлектриков, модифицированных ионными пучками / А. А. Перминов, А. В. Чернявский ; науч. рук. А. В. Чернявский // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 206-208]. |
| Аннотация: | The results of studies of impurity ions distribution in surface layers of dielectric modified by ion beams are presented. Depth profiles were measured by secondary ion mass spectrometry method. Computer simulations of the expected ion depth profile were carried out using the TRIM program. The alumina ceramic implanted with Ti ions at energy 50 keV and zirconium ceramic implanted with Al ions at energy 78 keV were investigated in our work. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19147 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C21-058.pdf | 572,98 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.