Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19391| Название: | Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы |
| Авторы: | Ажгихин, М. И. Шульте, Й. Эллмер, К. |
| Научный руководитель: | Ан, Владимир Вилорьевич |
| Ключевые слова: | структуры; тонкие пленки; оксид меди; нитрид меди; магнетронные напыления; солнечные элементы |
| Дата публикации: | 2015 |
| Библиографическое описание: | Ажгихин М. И. Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы / М. И. Ажгихин, Й. Шульте, К. Эллмер ; науч. рук. В. В. Ан // Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых : сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 159-163]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19391 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C08-047.pdf | 358,35 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.