Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20524
Название: Температурные условия CVD-осаждения как определяющий фактор в формировании плёнок кобальта с заданными эксплуатационными характеристиками
Авторы: Хайруллин, Рустам Равильевич
Доровских, С. И.
Научный руководитель: Панин, Алексей Викторович
Ключевые слова: температурные условия; CVD-осаждение; пленки; кобальт; эксплуатационные характеристики
Дата публикации: 2014
Библиографическое описание: Хайруллин Р. Р. Температурные условия CVD-осаждения как определяющий фактор в формировании плёнок кобальта с заданными эксплуатационными характеристиками / Р. Р. Хайруллин, С. И. Доровских ; науч. рук. А. В. Панин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 244-246].
Аннотация: Co films were deposited on Si(100) substrates by chemical vapor deposition (CVD). Co(N'acN'ac)2 was used as a precursor. The sizes of coherent scattering region (CSR) and phase composition of studied Co films were determined by the X-ray diffraction (XRD) analysis. The chemical composition was identified by the Energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX). As a result of this work the effect of substrate temperature on the texture, sizes of CSR, phase and chemical composition of Co films was revealed. It was found that Co films consist of alpha-Co and beta-Co crystals. Varying the substrate temperature allows to change widely the texture, sizes of CSR and chemical composition of Co films. The cobalt content and the texture degree of Co films are characterized by extreme substrate temperature dependence with a maximum at 320-330 °С. The size of CSR is weakly depends on the substrate temperature in the range of 300-330 °С but it starts to decrease at temperatures over 330 °С.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20524
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2014-C21-077.pdf156,74 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.