Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20976
Название: Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав
Авторы: Иванова, Н. М.
Арышева, Галина Владиславовна
Конищев, Максим Евгеньевич
Научный руководитель: Пичугин, Владимир Федорович
Ключевые слова: покрытия; оксинитриды титана; магнетронные распылительные системы; морфология поверхности; химический состав
Дата публикации: 2014
Издатель: Изд-во ТПУ
Библиографическое описание: Иванова Н. М. Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав / Н. М. Иванова, Г. В. Арышева, М. Е. Конищев ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Современные техника и технологии : сборник трудов XX международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 14-18 апреля 2014 г. : в 3 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — Т. 3. — [С. 327-328].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20976
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2014-C01-V3-156.pdf397,51 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.