Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20976
Title: Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав
Authors: Иванова, Н. М.
Арышева, Галина Владиславовна
Конищев, Максим Евгеньевич
metadata.dc.contributor.advisor: Пичугин, Владимир Федорович
Keywords: покрытия; оксинитриды титана; магнетронные распылительные системы; морфология поверхности; химический состав
Issue Date: 2014
Publisher: Изд-во ТПУ
Citation: Иванова Н. М. Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав / Н. М. Иванова, Г. В. Арышева, М. Е. Конищев ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Современные техника и технологии : сборник трудов XX международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 14-18 апреля 2014 г. : в 3 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — Т. 3. — [С. 327-328].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20976
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2014-C01-V3-156.pdf397,51 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.