Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21078
Название: Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD
Авторы: Хайруллин, Рустам Равильевич
Доровских, С. И.
Ключевые слова: рентгеноструктурные исследования; пленки; кобальт; металлические пленки; химическое осаждение; газовые фазы
Дата публикации: 2014
Библиографическое описание: Хайруллин Р. Р. Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD / Р. Р. Хайруллин, С. И. Доровских // Высокие технологии в современной науке и технике : сборник научных трудов III Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 26-28 марта 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [C. 159-163].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21078
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2014-C17-045.pdf575,99 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.