Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21078| Title: | Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD |
| Authors: | Хайруллин, Рустам Равильевич Доровских, С. И. |
| Keywords: | рентгеноструктурные исследования; пленки; кобальт; металлические пленки; химическое осаждение; газовые фазы |
| Issue Date: | 2014 |
| Citation: | Хайруллин Р. Р. Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD / Р. Р. Хайруллин, С. И. Доровских // Высокие технологии в современной науке и технике : сборник научных трудов III Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 26-28 марта 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [C. 159-163]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21078 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2014-C17-045.pdf | 575,99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.