Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/26020
Название: Исследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыления
Другие названия: Study of optical properties of si-al-n coatings obtained by magnetron sputtering
Авторы: Першукова, А. Г.
Рыбалко, Е. В.
Научный руководитель: Божко, Ирина Александровна
Ключевые слова: сверхтвердые покрытия; магнетронные напыления; кварцевые стекла; магнетронные напыления; биполярные источники
Дата публикации: 2016
Издатель: Изд-во ТПУ
Библиографическое описание: Першукова А. Г. Исследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыления / А. Г. Першукова, Е. В. Рыбалко ; науч. рук. И. А. Божко // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2016. — Т. 1 : Физика. — [С. 211-213].
Аннотация: The results of the investigation of structural-phase state and optical properties of the coatings on thebasis of Si-Al-N, deposited on quartz glass by pulsed magnetron sputtering were presented. The transmissionspectra of formed coating in the range of 190-1100 nm were produced. Refractive index and the thickness of the Si-Al-N coating using transmission spectra and also the refractive index dispersion were determined.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/26020
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C21_V1_p211-213.pdf385,9 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.