Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/26020
Название: | Исследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыления |
Другие названия: | Study of optical properties of si-al-n coatings obtained by magnetron sputtering |
Авторы: | Першукова, А. Г. Рыбалко, Е. В. |
Научный руководитель: | Божко, Ирина Александровна |
Ключевые слова: | сверхтвердые покрытия; магнетронные напыления; кварцевые стекла; магнетронные напыления; биполярные источники |
Дата публикации: | 2016 |
Издатель: | Изд-во ТПУ |
Библиографическое описание: | Першукова А. Г. Исследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыления / А. Г. Першукова, Е. В. Рыбалко ; науч. рук. И. А. Божко // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2016. — Т. 1 : Физика. — [С. 211-213]. |
Аннотация: | The results of the investigation of structural-phase state and optical properties of the coatings on thebasis of Si-Al-N, deposited on quartz glass by pulsed magnetron sputtering were presented. The transmissionspectra of formed coating in the range of 190-1100 nm were produced. Refractive index and the thickness of the Si-Al-N coating using transmission spectra and also the refractive index dispersion were determined. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/26020 |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2016-C21_V1_p211-213.pdf | 385,9 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.