Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/28688
Название: Развитие метода высокочастотной короткоимпульсной плазменно-иммерсионной ионной имплантации и осаждения покрытий для реализации гибридных технологий ионной и плазменной обработки материалов
Авторы: Аверин, Никита Сергеевич
Научный руководитель: Степанов, Игорь Борисович
Ключевые слова: плазма; ионная имплантация; осаждение; напряжение смещения; импульс; plasma; vacuum; bias potential; ion implantation; accelerating gap
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: Аверин Н. С. Развитие метода высокочастотной короткоимпульсной плазменно-иммерсионной ионной имплантации и осаждения покрытий для реализации гибридных технологий ионной и плазменной обработки материалов : дипломный проект / Н. С. Аверин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра физико-энергетических установок (№21) (ФЭУ) ; науч. рук. И. Б. Степанов. — Томск, 2016.
Аннотация: Выпускная квалификационная работа содержит 110 страниц, 52 рисунка, 27 таблиц, 24 источника, 2 приложения. Объектом исследования является метод высокочастотной короткоимпульсной плазменно-иммерсионной ионной имплантации и осаждения покрытий. Цель работы заключается в разработке методики применения высокочастотной короткоимпульсной плазменно-иммерсионной ионной имплантации и осаждения покрытий для модификации свойств материалов. Практическая польза и новизна заключаются в улучшении функциональных свойств, повышении энергетической эффективности и экологической безопасности при применении плазменной технологии в области модификации материалов.
The method of plasma immersion ion implantation was described in this paper. To improve the efficiency of the method was proposed a method of high-frequency short-pulse plasma-immersion implantation. Brief description of new method was considered in this material.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/28688
Располагается в коллекциях:ВКР

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
TPU210952.pdf1,76 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.