Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/28716
Название: Исследование влияния магнитного поля и потенциала смещения на подавление медных макрочастиц вакуумно-дугового испарителя
Авторы: Андрияшин, Дмитрий Александрович
Научный руководитель: Ананьин, Петр Семенович
Ключевые слова: Плазма; Дуговой разряд; Медь; Осаждение; Макрочастица; Микрокапля; plasma; arc discharge; copper; deposition; macroparticles; microcap
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: Андрияшин Д. А. Исследование влияния магнитного поля и потенциала смещения на подавление медных макрочастиц вакуумно-дугового испарителя : дипломный проект / Д. А. Андрияшин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра физико-энергетических установок (№21) (ФЭУ) ; науч. рук. П. С. Ананьин. — Томск, 2016.
Аннотация: Объектом исследования являются магнитное поле и отрицательный короткоимпульсный потенциал смещения, влияющие на подавление медных макрочастиц вакуумно-дугового испарителя. Цель работы – исследование закономерностей формирования потока микрокапельной фракции вакуумно-дугового испарителя и увеличение эффективности подавления макрочастиц при использовании магнитного поля и приложении к потенциальной мишени высокочастотного короткоимпульсного потенциала смещения. В процессе исследования проводились различные эксперименты для определения влияния различных параметров установки на формирование микрокапельной фракции в потоке плазмы и на поверхности образца. В результате исследования определены наиболее оптимальные параметры составляющих магнитного поля и конструкции катода.
The object of the study are the magnetic field and short-pulse negative bias potential, influencing the suppression of copper macroparticles of vacuum arc evaporator. Purpose – the study of regularities of formation of flow micro-fraction of the vacuum-arc evaporator and increasing the efficiency of suppression of particulates when using magnetic field and application to potential targets of high-frequency short-pulse bias potential. In the process of studies were conducted various experiments to determine the effect of different installation parameters on the formation of micro-drop fraction in the plasma flow on the sample surface. The study determined the most optimal parameters and components of the magnetic field design of the cathode.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/28716
Располагается в коллекциях:ВКР

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
TPU211255.pdf3,27 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.