Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/28716
Title: | Исследование влияния магнитного поля и потенциала смещения на подавление медных макрочастиц вакуумно-дугового испарителя |
Authors: | Андрияшин, Дмитрий Александрович |
metadata.dc.contributor.advisor: | Ананьин, Петр Семенович |
Keywords: | плазма; дуговой разряд; медь; осаждение; макрочастица; микрокапля; plasma; arc discharge; copper; deposition; macroparticles; microcap |
Issue Date: | 2016 |
Citation: | Андрияшин Д. А. Исследование влияния магнитного поля и потенциала смещения на подавление медных макрочастиц вакуумно-дугового испарителя : магистерская диссертация / Д. А. Андрияшин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра физико-энергетических установок (№21) (ФЭУ) ; науч. рук. П. С. Ананьин. — Томск, 2016. |
Abstract: | Объектом исследования являются магнитное поле и отрицательный короткоимпульсный потенциал смещения, влияющие на подавление медных макрочастиц вакуумно-дугового испарителя.
Цель работы – исследование закономерностей формирования потока микрокапельной фракции вакуумно-дугового испарителя и увеличение эффективности подавления макрочастиц при использовании магнитного поля и приложении к потенциальной мишени высокочастотного короткоимпульсного потенциала смещения. The object of the study are the magnetic field and short-pulse negative bias potential, influencing the suppression of copper macroparticles of vacuum arc evaporator. Purpose – the study of regularities of formation of flow micro-fraction of the vacuum-arc evaporator and increasing the efficiency of suppression of particulates when using magnetic field and application to potential targets of high-frequency short-pulse bias potential. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/28716 |
Appears in Collections: | Магистерские диссертации |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
TPU211255.pdf | 3,27 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.