Исследование влияния магнитного поля и потенциала смещения на подавление медных макрочастиц вакуумно-дугового испарителя

Abstract

Объектом исследования являются магнитное поле и отрицательный короткоимпульсный потенциал смещения, влияющие на подавление медных макрочастиц вакуумно-дугового испарителя. Цель работы – исследование закономерностей формирования потока микрокапельной фракции вакуумно-дугового испарителя и увеличение эффективности подавления макрочастиц при использовании магнитного поля и приложении к потенциальной мишени высокочастотного короткоимпульсного потенциала смещения.

The object of the study are the magnetic field and short-pulse negative bias potential, influencing the suppression of copper macroparticles of vacuum arc evaporator. Purpose – the study of regularities of formation of flow micro-fraction of the vacuum-arc evaporator and increasing the efficiency of suppression of particulates when using magnetic field and application to potential targets of high-frequency short-pulse bias potential.