Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/29360
Название: Технология керамических мишеней для напыления прозрачных электропроводных покрытий
Авторы: Жакмен, Маноэль Франсуа Мари -
Научный руководитель: Двилис, Эдгар Сергеевич
Ключевые слова: керамика; оксид индия-олова; коллекторное прессование; мощное ультразвуковое воздействие; свободное спекание; консолидация; ceramic; indium tin oxide; colletor pressing; powerfull ultrasound assistance; conventional sintering; consolidation
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: Жакмен М. -. Технология керамических мишеней для напыления прозрачных электропроводных покрытий : дипломный проект / М. -. Жакмен ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Институт физики высоких технологий (ИФВТ), Кафедра наноматериалов и нанотехнологий (НМНТ) ; науч. рук. Э. С. Двилис. — Томск, 2016.
Аннотация: Эксплуатационные характеристики тонких проводящих керамических покрытий на сенсорные экраны современных электронных устройств существенно зависят от качества распыляемых мишеней. Стабильные характеристики устройств достигаются только при использовании керамики с низким значением остаточной пористости и равномерным её распределением по объёму мишени. Однако в качестве материала мишеней используют оксиды индия –олова (ITO), консолидация которых до требуемых характеристик традиционными методами затруднительна. В работе используются рациональные методы прессования порошков ITO в оптимальных режимах для достижения максимальных характеристик керамических мишеней.
The performance of the thin conductive ceramic coatings on the touch screens of modern electronic devices depend strongly on the quality of sputtering targets. Stable characteristics of the devices can only be achieved by using ceramics with a low residual porosity and its uniform distribution in the target volume. However, as the target material is indium tin oxide (ITO), which is to consolidate the required characteristics is difficult to obtain by conventional methods. We use rational methods of compression ITO powders in optimal conditions to achieve a hight quality of ceramic targets.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/29360
Располагается в коллекциях:ВКР

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
TPU215326.pdf1,96 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.