Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32460
Название: | Использование ядерного легирования для получения высокоомного кремния |
Авторы: | Емец, Евгений Геннадьевич Головацкий, Алексей Васильевич Варлачева, Н. В. |
Научный руководитель: | Варлачёв, Валерий Александрович |
Ключевые слова: | ядерное легирование; кремний; радиационные дефекты; высокоомный кремний |
Дата публикации: | 2016 |
Библиографическое описание: | Емец Е. Г. Использование ядерного легирования для получения высокоомного кремния / Е. Г. Емец, А. В. Головацкий, Н. В. Варлачева ; науч. рук. В. А. Варлачёв // Изотопы: технологии, материалы и применение : материалы III Международной научной конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г.Томск, 19-23 сентября 2016 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2016. — [С. 41]. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32460 |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2016-C84_p41.pdf | 337,14 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.