Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32460
Название: Использование ядерного легирования для получения высокоомного кремния
Авторы: Емец, Евгений Геннадьевич
Головацкий, Алексей Васильевич
Варлачева, Н. В.
Научный руководитель: Варлачёв, Валерий Александрович
Ключевые слова: ядерное легирование; кремний; радиационные дефекты; высокоомный кремний
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: Емец Е. Г. Использование ядерного легирования для получения высокоомного кремния / Е. Г. Емец, А. В. Головацкий, Н. В. Варлачева ; науч. рук. В. А. Варлачёв // Изотопы: технологии, материалы и применение : материалы III Международной научной конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г.Томск, 19-23 сентября 2016 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2016. — [С. 41].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32460
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C84_p41.pdf337,14 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.