Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32460| Title: | Использование ядерного легирования для получения высокоомного кремния |
| Authors: | Емец, Евгений Геннадьевич Головацкий, Алексей Васильевич Варлачева, Н. В. |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Варлачёв, Валерий Александрович |
| Keywords: | ядерное легирование; кремний; радиационные дефекты; высокоомный кремний |
| Issue Date: | 2016 |
| Citation: | Емец Е. Г. Использование ядерного легирования для получения высокоомного кремния / Е. Г. Емец, А. В. Головацкий, Н. В. Варлачева ; науч. рук. В. А. Варлачёв // Изотопы: технологии, материалы и применение : материалы III Международной научной конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г.Томск, 19-23 сентября 2016 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2016. — [С. 41]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32460 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2016-C84_p41.pdf | 337,14 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.