Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/33861
Название: The influence of some model parameters on the impurity distribution implanted into substrate surface
Авторы: Parfenova, Elena Sergeevna
Knyazeva, Anna Georgievna
Ключевые слова: примеси; поверхности; подложки; ионная имплантация; металлы; тепловые потоки; массообмен; диффузия
Дата публикации: 2016
Издатель: IOP Publishing
Библиографическое описание: Parfenova E. S. The influence of some model parameters on the impurity distribution implanted into substrate surface / E. S. Parfenova, A. G. Knyazeva // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. — 2016. — Vol. 124 : Mechanical Engineering, Automation and Control Systems (MEACS2015) : International Conference, 1–4 December 2015, Tomsk, Russia : [proceedings]. — [012085, 4 p.].
Аннотация: The model for description of the initial stage of ion implantation into the surface layer of the metal is presented. The interdependence of embedded impurity concentration and deformations arising from the impact of particles on the surface is investigated. The model takes into account the particle diffusion, the finite time of mass flux relaxation; the stress appearance due to a composition change of the surface layer and a mass transfer phenomenon under a stress gradient action. It is established that the interaction of mechanical waves and concentration leads to a distribution of concentration not corresponding to a pure diffusion process. The examples of coupled problems solution for different sets of model parameters are presented.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/33861
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
dx.doi.org-10.1088-1757-899X-124-1-012085.pdf894,17 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.