Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35833| Название: | The energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal target |
| Авторы: | Bleykher, Galina Alekseevna Borduleva, Alena Olegovna Yuryeva, Alena Victorovna |
| Ключевые слова: | энергия; подложки; покрытия; магнетроны; мишени; жидкие металлы; магнетронное распыление; поток энергии; жидкие фазы; magnetron sputtering; evaporation; energy flux onto substrate; liguid-phase target |
| Дата публикации: | 2016 |
| Библиографическое описание: | Bleykher G. A. The energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal target / G. A. Bleykher, A. O. Borduleva, A. V. Yuryeva // Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2016. — [P. 234]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35833 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2016-C117_p235.pdf | 220,76 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.