Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527
Название: Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.07
Авторы: Киселева, Евгения Сергеевна
Научный руководитель: Никитенков, Николай Николаевич
Ключевые слова: Тонкопленочные покрытия; диссертации; физико-механические свойства; пленки; диоксид титана; оксинитрид титана; реактивное магнетронное распыление; механические свойства; структуры; элементный состав; импульсное магнетронное распыление; масс-спектрометрия; рентгенофазовый анализ
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: Киселева Е. С. Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07 / Е. С. Киселева ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Н. Н. Никитенков. — Томск, 2016. — 113 л. : ил.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
dis00170.pdf3,65 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.