Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39405
Title: Исследование свойств медных покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Authors: Мутали, Меруерт Нуржанкызы
metadata.dc.contributor.advisor: Юрьева, Алена Викторовна
Keywords: магнетронная распылительная система; жидкофазная мишень; высокоскоростное осаждение покрытий; медные покрытия; свойства тонких плёнок; magnetron sputtering systems; liquid-phase target; high-rate coating deposition; copper coatings; properties of thin films
Issue Date: 2017
Citation: Мутали М. Н. Исследование свойств медных покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью : магистерская работа / М. Н. Мутали ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. А. В. Юрьева. — Томск, 2017.
Abstract: В данной работе описан высокоскоростной метод получения металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью. Максимальная скорость осаждения меди при плотности мощности 55 Вт/см2 равна 200 нм/с. Это в двадцать раз выше, чем при использовании обычного магнетрона. Исследовано влияние материала тигля на режимы работы МРС с жидкофазной мишенью, скорость осаждения и свойства медных покрытий.
The work presents a high-rate method for metal coating deposition by the means of magnetron sputtering system (MSS) with liquid-phase target. Maximum copper deposition rate at a power density of 55 W/cm2 is 200 nm/s, which is twenty times higher than if an ordinary magnetron is used. The effect of material of the crucible on operation of MSS with liquid-phase target, properties copper coating and deposition rate is studied.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39405
Appears in Collections:Магистерские диссертации

Files in This Item:
File SizeFormat 
TPU386074.pdf1,91 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.