Исследование свойств медных покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью

Abstract

В данной работе описан высокоскоростной метод получения металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью. Максимальная скорость осаждения меди при плотности мощности 55 Вт/см2 равна 200 нм/с. Это в двадцать раз выше, чем при использовании обычного магнетрона. Исследовано влияние материала тигля на режимы работы МРС с жидкофазной мишенью, скорость осаждения и свойства медных покрытий.

The work presents a high-rate method for metal coating deposition by the means of magnetron sputtering system (MSS) with liquid-phase target. Maximum copper deposition rate at a power density of 55 W/cm2 is 200 nm/s, which is twenty times higher than if an ordinary magnetron is used. The effect of material of the crucible on operation of MSS with liquid-phase target, properties copper coating and deposition rate is studied.