Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39405
Title: | Исследование свойств медных покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью |
Authors: | Мутали, Меруерт Нуржанкызы |
metadata.dc.contributor.advisor: | Юрьева, Алена Викторовна |
Keywords: | магнетронная распылительная система; жидкофазная мишень; высокоскоростное осаждение покрытий; медные покрытия; свойства тонких плёнок; magnetron sputtering systems; liquid-phase target; high-rate coating deposition; copper coatings; properties of thin films |
Issue Date: | 2017 |
Citation: | Мутали М. Н. Исследование свойств медных покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью : магистерская работа / М. Н. Мутали ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. А. В. Юрьева. — Томск, 2017. |
Abstract: | В данной работе описан высокоскоростной метод получения металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью. Максимальная скорость осаждения меди при плотности мощности 55 Вт/см2 равна 200 нм/с. Это в двадцать раз выше, чем при использовании обычного магнетрона. Исследовано влияние материала тигля на режимы работы МРС с жидкофазной мишенью, скорость осаждения и свойства медных покрытий. The work presents a high-rate method for metal coating deposition by the means of magnetron sputtering system (MSS) with liquid-phase target. Maximum copper deposition rate at a power density of 55 W/cm2 is 200 nm/s, which is twenty times higher than if an ordinary magnetron is used. The effect of material of the crucible on operation of MSS with liquid-phase target, properties copper coating and deposition rate is studied. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39405 |
Appears in Collections: | Магистерские диссертации |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
TPU386074.pdf | 1,91 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.