1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Авторефераты и диссертации
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43215
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorКривобоков, Валерий Павловичru
dc.contributor.authorЮрьева, Алена Викторовнаru
dc.date.accessioned2017-10-11T03:47:50Z-
dc.date.available2017-10-11T03:47:50Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.citationЮрьева А. В. Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / А. В. Юрьева ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2017.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/43215-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.subjectдиссертацииru
dc.subjectосаждениеru
dc.subjectметаллические покрытияru
dc.subjectмагнетроныru
dc.subjectжидкофазные мишениru
dc.subjectфазовые превращенияru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectспектрометрияru
dc.subjectфункциональные характеристикиru
dc.subjectмедные покрытияru
dc.subjectпленкиru
dc.subjectмишениru
dc.subjectмагнетронные распылительные системыru
dc.titleОсаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07ru
dc.typeThesis-
dc.typeDissertation-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersion-
dcterms.audienceResearches-
local.filepathdis00197.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\362148-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\21255-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\30232-
local.localtypeДиссертацияru
dc.subject.oksvnk01.04.07-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат технических наукru
local.thesis.disciplineФизика конденсированного состоянияru
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
dis00197.pdf3,11 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.