Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43215| Title: | Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07 |
| Authors: | Юрьева, Алена Викторовна |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Кривобоков, Валерий Павлович |
| Keywords: | диссертации; осаждение; металлические покрытия; магнетроны; жидкофазные мишени; фазовые превращения; плазма; спектрометрия; функциональные характеристики; медные покрытия; пленки; мишени; магнетронные распылительные системы |
| Issue Date: | 2017 |
| Citation: | Юрьева А. В. Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / А. В. Юрьева ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2017. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43215 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| dis00197.pdf | 3,11 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.