Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43215
Title: Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07
Authors: Юрьева, Алена Викторовна
metadata.dc.contributor.advisor: Кривобоков, Валерий Павлович
Keywords: диссертации; осаждение; металлические покрытия; магнетроны; жидкофазные мишени; фазовые превращения; плазма; спектрометрия; функциональные характеристики; медные покрытия; пленки; мишени; магнетронные распылительные системы
Issue Date: 2017
Citation: Юрьева А. В. Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / А. В. Юрьева ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2017.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43215
Appears in Collections:Авторефераты и диссертации

Files in This Item:
File SizeFormat 
dis00197.pdf3,11 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.