Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43215| Название: | Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07 |
| Авторы: | Юрьева, Алена Викторовна |
| Научный руководитель: | Кривобоков, Валерий Павлович |
| Ключевые слова: | диссертации; осаждение; металлические покрытия; магнетроны; жидкофазные мишени; фазовые превращения; плазма; спектрометрия; функциональные характеристики; медные покрытия; пленки; мишени; магнетронные распылительные системы |
| Дата публикации: | 2017 |
| Библиографическое описание: | Юрьева А. В. Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / А. В. Юрьева ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2017. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43215 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| dis00197.pdf | 3,11 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.